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DEPOTS PAR CANON
La technique du canon à électron consiste à apporter suffisamment d'énergie (très concentrée) sur un matériau souvent réfractaire à l'aide d'un faisceau d'électrons focalisé.
Les électrons sont créés par effet thermoélectrique (chauffage d'un filament) et leur trajectoire est focalisée grâce à l'action conjuguée d'une différence de potentiel électrique et d'un champ magnétique.
Ce dernier incurve la trajectoire du faisceau pour focaliser celui-ci sur la cible. La figure suivante montre de façon simplifiée le principe de cette technique.
Notons qu'afin d'améliorer l'homogénéité des couches déposées, il est souhaitable de déplacer en permanence les substrats. Sur le schéma, on peut remarquer que le porte substrat est tournant.
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