Dépôts sous vide
Pulvérisation
Dépôts par canon
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A savoir
PULVERISATION
Deux grandes familles de techniques, très courantes, sont utilisées pour la réalisation de ces dépôts :
Le PVD (Physical Vapor Deposition) :
C'est l'appellation générique pour définir les dépôts physiques en phase vapeur, après évaporation thermique du matériau (sources à effet joule ou canon à électron)
La pulvérisation cathodique :
La pulvérisation cathodique consiste à bombarder une cible par des atomes lourd et inertes dun gaz (tel que largon) qui sont ionisés pour former un plasma et a arracher des atomes et des molécules de la cible afin de les envoyer se déposer sur le substrat.
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